由于性价比提升一直以来都被视为摩尔定律的核心意义,所以20nm以下制程的成本上升问题一度被认为是摩尔定律开始失效的标志,而28nm作为最具性价比的制程工艺,具有很长的生命周期。
在设计成本不断上升的情况下半导体制造工艺基础,只有少数客户能负担得起转向高级节点的费用。据Gartner统计,16nm /14nm芯片的平均IC设计成本约为8000万美元,而28nm体硅制程器件约为3000万美㊣元,设计7nm芯片则需要2.71亿美元。IBS的数据㊣显示:28nm体硅器件的设计成本大致在5130万美元左右,而7nm芯片需要2.98亿美元。对于多数客户而言,转向16nm/14nm的FinFET制程太昂贵了。
就单位芯片成本而言,28nm优势明显,将保持较长生命周期。一方面,相较于40nm及更早期制程,28nm工艺在频✅率调节、功耗控制、散热管理和尺寸压缩方面具有明显优势。另一方面,由于16nm/14nm及更先进制程采用FinFET技术,维持高参数良率以及低缺陷密度难度加大,每个逻辑闸的成本都要高于28nm制程的。
28nm处于32nm和22nm之间,业界在更早的45nm阶段引入了high-k值绝缘层/金属栅极(HKMG)工艺,在32nm处引入了第二代 high-k 绝缘层/金属栅工艺,这些为28nm的逐步成熟打下了基础。而在之后的先进工艺方面,从22nm开始采用FinFET(鳍式场效应晶体管)等。可见,28nm正好处于制程过渡的关键点上,这也是其性价比高的一个重要原因。
目前,行业内的28nm制程主要在台积电,GF(格芯),联电,三星和中芯国际这5家之间竞争,另外,2018年底宣布量产联发科28nm芯片的华虹旗下的华力微电子也开始加入竞争行列。
虽㊣然高端市场会被 7nm、10nm以及14nm/16nm工艺占据,但40nm、28nm等并不会退出。如28nm~16nm工艺现在仍然是台积电营收的重要组成部分,特别是在中国大陆建设的代工厂,就是以16nm为主。中芯国际则在持续提高28nm良率。
14nm制程主要用于中高端AP/SoC、GPU、矿机㊣ASIC、FPGA、汽车半导体等制造。对于㊣各厂商而言,该制程也是收入的主要来源,特别是英特尔,14nm是其目前的主要制程工艺,以该公司的体量而言,其带来的收入可想而知。而对于中国大陆本土的晶圆代工厂来说,特别是㊣中芯国际和华虹,正在开发14nm制程技术,距离量产时间也不远了。
目前来看,具有或即将具有14nm制程产能的厂商主要有7家,分别是:英特尔、台积电、三星、格芯、联电、中芯国际和㊣华虹。
同为14nm制程,由于英特尔严格追求摩尔定律,因此其制程的水平和严谨度是最高的,就目前已发布的技术来看,英特尔持续更新的14nm制程与台积电的10nm大致同级。
然而,英特尔公司自己的㊣14nm产能已经满✅载,因此,该公司投入15亿美元,用于扩大14nm产能,预计可在今年第3季度增加产出。其14nm制程芯片主要在美国亚利桑那州及俄勒冈的D1X晶圆厂生产,海外14nm晶圆厂是位于爱尔兰的Fab 24,目前还在㊣升级14nm工艺。
三星方面,该公司于2015年宣布正式量产14nm FinFET制程,先后为苹果和高通代工过高✅端手机处理器。目前来看,其14nm产能市场占有率仅次于英特尔和台积电。
台积电于2015下半年量产16nm FinFET制程。与三星和英特尔相比,尽管它们的节点命名有所不同,三星和㊣英特尔是14nm,台积电是✅16nm,但在实际制程工艺水平上处于同一世代。
格芯制定了两条工艺路线图:一是FinFET,这方面,该公司有14LPP和新的12LPP(14LPP到7LP的过㊣渡版本);二是FD-SOI,格芯目前在产的是22FDX,当客户需要时,还会发布12FDX。
联电方面,其14nm制程占比只有3%左右,并不是其主力产线。这与该✅公司的发展策略直接相关,联电重点发展㊣特殊工艺,无论是8吋厂,还是12吋厂,该公司会聚焦在各种新的特殊工艺发展上。
中芯国际方面,其14nm FinFET已进入客户试验阶段,2019年第二季在上海工厂投入新设备,规划下半年进入量产阶段,未来,其首个14nm制程客户很可能是手机芯片厂商。据悉,2019年,中芯国际的资本支出由2018年的18亿✅美元提升到了22亿美元。
华㊣力微电子方面,在年初的SEMICON China 2019先进制造论坛上,该公司研发副总裁邵华发表演讲时表示,华力微电子今年年底将量产28nm HKC+工艺,2020年底将量产14nm FinFET工艺。
从目前的晶圆代工市场来看,具备12nm制程技术能力的厂商很少,主要✅有台㊣积电、格芯、三星和联电。联电于2018年宣布停止12nm及更先进制程工艺的研发。因此,目前来看,全球晶圆代工㊣市场,12nm的主要玩家就是台积电、格芯和三星这三家。
台积电的16nm制程经历了16nm FinFET、16FF+和16FFC三代,之后进入了第四代16nm制程技术,此时,台积电改变策略,推出㊣了改版制程,也就是12nm技术,用以吸引更多客户订单,从而提升12吋晶圆厂的产能利用率。因此,台积电的12nm制程就是其第四代16nm技术。
格芯于2018年宣布退出10nm及更先进制程的研发,这样,该公司的最先进制程就是12nm了。该公司是分两条腿走路的,即FinFET和FD-SOI,这也充分体现在了12nm制程上,在FinFET方面,该公司有12LP技✅术,而在FD-SOI方面,有12FDX。12LP主要针对人工智能、虚拟现实、智能手机、网络基础设施等应用产业园区效果图,利用了格芯在纽约萨拉托加县Fab 8的专业技术,该工厂自2016年初以来,一直在大规模量产格芯的14nm FinFET产品。
由于许多连接设备既需要高度集成,又要求具有更灵活的㊣性能和功耗,而这是FinFET难以实现的,12FDX则提供了一种替代路径,可以实现比FinFET产品功耗更低、成本更低、射频集成更优。
三星方面,其晶圆代工路线nm LPP。不过,三星的11 LPP和格芯的12nm LP其实是“师出同门”,都是对三星14nm改良的产物,晶体管密度变化不大,效能则有所增加。因此,格芯的12nm LP与三星的12nm制程有非常多的共同之处,这可能也是AMD找三星代工12nm产品的原因之一。
中芯国际方面,不仅14nm FinFET制程已进入客户风险量产阶段,而且在2019年第一季度,其12nm制程工艺开发进入客户导入阶段,第二代FinFET ㊣N+1研发取得突破,进度超过预期,同时,上海中芯南方FinFET工厂顺㊣利建造完成,进入产能布建阶段。这意味着用不了多久,一个新的12nm制程玩家将杀入战团。
总的来说,台积电还是领㊣先的,其典型产品就是2017年为苹果代工的A11处理器。而三星也紧跟步伐,在10n㊣m这个点,双方的进度相差不大,但总体水平,台积电仍然略胜一筹。
今年,英特尔的老对手AMD打起了翻身仗,凭借台积电代工的7nm锐龙3000系列处理器,让AMD在CPU处理器的制程工艺上首次超越了英特尔。
而目前,英特尔的主流制程是14nm,不过,前不久传来消息,经过多年的攻关,该公司终于解决了10nm工艺的技术难题,已经开始量产。
不过,英特尔对制程节点的严谨追求是很值得称道的,从具㊣体的性能指标,特别是PPA和晶体管密度来看,英特尔的10nm比台积电的10nm有优势。
在7nm,目前只有台积电和三星两家了,而且三星的量产时间相对于台积电明显滞后,这让三星不得不越过7nm,直接上7nm EUV,这使得像苹果、华为、AMD、英伟达这样的7nm制程大客户订单,几乎都被台积电抢走了。在这种✅先发优势下,台积电的7nm产能已经有些应接不暇。而在7nm EUV量产方面,台积电也领先了一步,代工的华为麒麟990已经商用,三星7nm EUV代工的高通新一代处理器也在生产当中,估计很快就会面市了。
英特尔方面,在10nm之后,该公司称会在2021年推✅出7nm工艺,据悉,其7nm工艺已经走上正轨,功耗及性能看起来都非常好,根据之前的消息,7nm工艺会在2021年的数据中心GPU上首发。
以上,就业界已经量产的主流先进制程工艺的发展情况,以及相关厂商的进展进行了阐述。而更先进的5nm、3nm、2nm等还没有进入量产阶段,就不再详述了。这些制程节点已经鲜有玩家了,目前只有台积电和三星这两家,台积电称将于明年量产5nm,而三星似乎要越过5nm,直接上3nm。
“英特尔精尖制造日”活动今天举行,展示了英特尔制程工艺的多项重要进展,包括:英特尔10纳米制程功耗和性能的最新细节,英特尔首款10纳米FPG㊣A的计划,并宣布了业内首款面向数据中心应用的64层3D NAND产品已实现商用并出货。 “英特尔✅遵循摩尔定律,持续向前推进制程工艺,每一代都会带来更强的功能和性能、更高的能效、更低㊣的晶体管成本,”英特尔公司执行副总裁兼制造、运营与销售集团总裁Stacy Smith表示,“很高兴首次在中国与大家分享英特尔制程工艺路线图中的多项重要进展,展现了我们持续推动摩尔定律向前发展所获得的丰硕成果。” 英特尔公司全球副总裁兼中国区总裁杨旭欢迎来自合作伙伴、客户、政府部门和学术界的嘉宾以及新闻媒体出席
据国外媒体报道,正在推进3nm制程工艺以可观良品率量产的台积电,也在推进更先进的2nm及1nm制程工艺,2nm制程工艺预计在2025年下半年量产,将提供多个版本,随后就将是1nm制程工艺。 虽然目前距离台积电1nm制程工艺量产还有多年,但外媒称他们已在谋划工厂的建设事宜,以便按计划量产。 从外媒的报道来看,台积电的1nm制程工艺工厂,是计划建在由新竹科学园区运营的龙潭科学园区,靠近桃园市。 外媒㊣在报道中表示,台积电目前在龙潭科学园区有两座封装和测试工厂,是他们建设1nm制程工艺工厂的理想之地。 同台积电当前在运营的晶圆厂一样,1nm制程工艺的工㊣厂,在建成之后也将带来大量的高薪岗位,预计㊣会有数千个,但建厂的投资也将相当
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